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J-GLOBAL ID：200903047423372186
走査型プローブ顕微鏡加工装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995024244
Publication number (International publication number)：1996220107
Application date： Feb. 13, 1995
Publication date： Aug. 30, 1996
Summary：
【要約】【目的】加工機能を付加した走査型プローブ顕微鏡に於いて、XYラスタ測定により測定像を更新表示しながらその画像上に加工すべきXY座標を重ね書きし、XYラスタ走査が加工すべきXY座標に達したら、そのポイントで加工動作、測定を連続して行い、その後はラスタ走査測定を続けることでリアルタイムに加工した試料表面の測定観察を行うことを特徴とする。【構成】マイクロコンピュータ23には、マウス22が接続されたホストコンピュータ21の他、メモリ24、バイアス電圧発生部25、Z制御部26、X走査部27、Y走査部28が接続される。トンネル電流検出部29は、探針30と試料31の間に流れるトンネル電流を検出して、トンネル信号をZ制御部26へ出力する。XYZ駆動圧電体32は、マイクロコンピュータ23により、3次元方向に駆動されながら、試料31の表面形状測定及び加工を行う。
Claim (excerpt)：
プローブや試料を微動させるための圧電体と、上記プローブを通じて試料に加工を施す加工手段と、上記プローブによって検出される試料表面情報に基いて上記圧電体をZ方向に変形させる制御手段と、上記圧電体をXY方向に走査変形させる走査手段と、少なくとも1つ以上の加工所望XY座標を記憶する記憶手段と、第1の表示形態で表示される上記試料表面形状と、第2の表示形態で表示される加工所望XY座標とを別々に若しくは重ね合わせて表示する表示手段とを具備し、上記制御手段及び上記走査手段によって、Z制御及びXY走査しながら、試料表面形状を測定して上記表示手段に表示を行うと共に、上記記憶手段に記憶された試料表面の少なくとも1つ以上のXY座標に於いて、上記加工手段によって加工動作を行うことを特徴とする走査型プローブ顕微鏡加工装置。
IPC (4)：
G01N 37/00
, H01J 37/28
, H01L 21/66
, G01B 21/30
G01N 37/00 A
, H01J 37/28 Z
, H01L 21/66 C
, H01L 21/66 Z
, G01B 21/30 Z
