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J-GLOBAL ID：200903047434171476

スルホニウム塩、光酸発生剤、光カチオン重合開始剤およびレジスト組成物

Inventor： 前田 勝美 ,  中野 嘉一郎
Applicant, Patent owner： 日本電気株式会社
Agent (1)： 舘野 千惠子
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992087561
Publication number (International publication number)：1993255240
Application date： Mar. 12, 1992
Publication date： Oct. 05, 1993
Summary：

【要約】【目的】 遠紫外光、エキシマレーザなどの放射線を用いたリソグラフィーおよび光カチオン重合において、高い感光性を示すスルホニウム塩を提供する。【構成】 一般式:【化1】(式中、R1〜R6のうち少なくともひとつがアルキル基、アリール基、アルコキシ基あるいはハロゲンであり、かつ残りが水素であり、X-が非求核性対イオンである。)で表されるスルホニウム塩。【効果】 これらのスルホニウム塩は、光の照射により酸を発生し、更にこの酸は触媒的に二次的な化学反応を起こすことが出来る。従って、エポキシなどの光カオチン重合の開始剤およびレジストの光酸発生剤として利用できる。

Claim (excerpt)：

下記の一般式:【化1】(式中、R1〜R6のうち少なくともひとつは、アルキル基、アリール基、アルコキシ基あるいはハロゲンであり、かつ残りは水素であり、X-は非求核性対イオンである。)で表されることを特徴とするスルホニウム塩。

IPC (2)：

C07C381/12 ,  C08G 59/68 NKL