表面機械特性測定装置及びその測定方法

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：柏木慎史 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000058092
Publication number (International publication number)：2001249018
Application date： Mar. 03, 2000
Publication date： Sep. 14, 2001
Summary：

【要約】【課題】触針等の変更や調整を許容することで、広い荷重範囲で、被検物の形状にとらわれず曲面形状等についても表面機械特性を測定でき、測定に汎用性を持たせ得る表面機械特性測定装置を提供する。【解決手段】触針取付部5に対して異なる触針6を着脱交換自在とし、かつ、この触針取付部5を支持する荷重調整用ばね7も着脱交換自在とし、触針取付部7をX軸方向の変動が拘束されZ軸方向に微小範囲で可動するように設けることで、触針取付部5の動きを測定に支障を来たさないように拘束した状態で、測定の目的・用途に合わせて、例えば引力測定用に適した触針6とか摩擦測定用などに適した触針を用いたり荷重調整用ばね7を交換して備えることで、同一の測定装置で測定に汎用性を持たせることができるようにした。

Claim (excerpt)：

触針を被検物の表面に接触させて摺動させることにより前記被検物の表面特性を計測する表面機械特性計測装置において、異なる前記触針が着脱交換自在で、前記触針の長手方向に直交するX軸方向の変動が拘束され前記触針の長手方向に沿ったZ軸方向に微小範囲で可動する触針取付部と、着脱交換自在に設けられて前記触針取付部を前記Z軸方向に支持する荷重調整用ばねと、前記触針取付部の前記Z軸方向への変位を検出するZ軸方向変位検出部と、これらの触針取付部と荷重調整用ばねとZ軸方向変位検出部とを搭載して前記Z軸方向に移動することにより前記触針の前記被検物に対する接離及び測定荷重を調整するZ軸駆動機構と、前記被検物を前記X軸方向に駆動するX軸駆動機構と、を備えることを特徴とする表面機械特性測定装置。

IPC (2)：

G01B 21/30 102 , G01N 19/02

FI (2)：

G01B 21/30 102 , G01N 19/02 C

F-Term (11)：

2F069AA57 , 2F069BB40 , 2F069DD20 , 2F069GG01 , 2F069GG04 , 2F069GG06 , 2F069GG07 , 2F069HH09 , 2F069JJ19 , 2F069MM32 , 2F069MM34

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