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J-GLOBAL ID：200903047443711246

光導波回路

Inventor： 奈良 一孝 ,  中島 毅 ,  柏原 一久
Applicant, Patent owner： 古河電気工業株式会社
Agent (1)： 五十嵐 清
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000000380
Publication number (International publication number)：2001194541
Application date： Jan. 05, 2000
Publication date： Jul. 19, 2001
Summary：

【要約】【課題】 半波長板を設けなくても偏波依存性損失の影響を抑制可能なアレイ導波路型回折格子を提供する。【解決手段】 シリコン基板11上に下部クラッドを形成し、その上に、複数の入射導波路12の出射側に入力側スラブ導波路を接続し、その出射側に互いに異なる長さの複数のアレイ導波路14を並設して接続し、その出射側に出力側スラブ導波路15を接続し、その出射側に複数の出射導波路16を接続した導波路構成を有するコアを形成し、コアの上を上部クラッドで覆う。コアに入射する互いに波長が異なる複数の多重入力された光を波長ごとに分離して出力する。クラッドとコアは石英系ガラスにより形成し、光導波路部に発生する複屈折Bの値を|B|≦5.34×10-5とし、上部クラッドの熱膨張係数をαgとし、シリコン基板の熱膨張係数をαsとしたとき、αs-2.0×10-7≦αg≦αs+2.0×10-7と成す。

Claim (excerpt)：

石英系ガラスによって形成された下部クラッドとコアと上部クラッドとを有する光導波路部をシリコン基板上に形成してなる光導波回路であって、前記光導波路部に発生する複屈折Bの値が|B|≦5.34×10-5であることを特徴とする光導波回路。

IPC (2)：

G02B 6/12 ,  G02B 6/293

FI (3)：

G02B 6/12 N ,  G02B 6/12 F ,  G02B 6/28 D

F-Term (9)：

2H047KA02 ,  2H047KA03 ,  2H047KA12 ,  2H047LA01 ,  2H047LA19 ,  2H047QA04 ,  2H047QA07 ,  2H047RA00 ,  2H047TA00

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 光導波路の作製方法
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平6-269862   Applicant：住友電気工業株式会社