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J-GLOBAL ID：200903047463822176

質量分析装置

Inventor： 富田 充裕 ,  畠中 達也 ,  斎藤 和男 ,  吉木 昌彦 ,  本間 美規 ,  山崎 英之 ,  鈴木 健
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 三好 秀和 (外3名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995054119
Publication number (International publication number)：1996247973
Application date： Mar. 14, 1995
Publication date： Sep. 27, 1996
Summary：

【要約】【目的】 残留ガス成分による検出限界の低下を防ぎ、微量成分の分析に充分対応できる質量分析装置を提供する。【構成】 質量分析装置1は、試料の質量分析を行うための分析機構11,13,15と、該分析機構を収容する分析室3を区画するための区画壁5と、該区画壁の外周に所定の気体を供給して当該気体で該区画壁の外周を覆うための気体供給機構7,9,25,27とを備える。又、質量分析装置67は、試料をイオンに変換する変換部73と、該変換部73によって変換されたイオンを質量に従って分離する分離部75と、該分離部75によって分離されたイオンを検出することによって試料の質量分析を達成する検出部77と、該分離部75の表面を質量分析の間80°C以上に加熱するヒーター85とを備える。【効果】 外気中に含まれる成分や高真空下でガス状の物質による検出限界の低下を防止できる。

Claim (excerpt)：

試料の質量分析を行うための分析機構と、該分析機構を収容する分析室を区画するための区画壁と、該区画壁の外周に所定の気体を供給して当該気体で該区画壁の外周を覆うための気体供給機構とを備える質量分析装置。