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J-GLOBAL ID:200903047474314598

パターン形成材料の射出塗布装置及びパターン形成材料の射出塗布方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 内藤 照雄
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):2002219456
Publication number (International publication number):2004057928
Application date: Jul. 29, 2002
Publication date: Feb. 26, 2004
Summary:
【課題】工程を単純化すると共に、加工精度を高めつつ材料の利用効率を向上することのできるパターン形成材料の射出塗布装置及びパターン形成材料の射出塗布方法を提供する。【解決手段】射出塗布装置60は、パターン形成材料61を塗布する基板41を載置する載置台62を有しており、載置台62を跨ぐように配設された門型フレーム63と、門型フレーム63に装備された吐出ヘッド64を有し、ノズル66から基板上に吐出された直後のパターン形成材料61に光又は熱を照射するため、吐出ヘッド64の進行方向(Y軸方向)に対してノズル66の後側に照射部72を設ける。【選択図】 図5
Claim (excerpt):
パターン形成材料を射出塗布してディスプレイパネル用の所定パターンを基板上に形成するパターン形成材料の射出塗布装置であって、 前記基板上にパターン形成材料を線状に射出塗布する吐出孔を備えた吐出ヘッドと、 前記吐出孔から前記基板上に吐出されたパターン形成材料に光又は熱を照射する照射部と、 前記吐出ヘッドを前記基板に対して相対的に移動させる相対移動駆動部と、 を備えたことを特徴とするパターン形成材料の射出塗布装置。
IPC (10):
B05C5/00 ,  B05C9/12 ,  B05C9/14 ,  B05C11/10 ,  B05D1/26 ,  B05D3/00 ,  B05D3/02 ,  B05D3/06 ,  H01J9/02 ,  H01J11/02
FI (10):
B05C5/00 101 ,  B05C9/12 ,  B05C9/14 ,  B05C11/10 ,  B05D1/26 Z ,  B05D3/00 D ,  B05D3/02 Z ,  B05D3/06 Z ,  H01J9/02 F ,  H01J11/02 B
F-Term (38):
4D075AC06 ,  4D075AC07 ,  4D075BB26Z ,  4D075BB46Z ,  4D075CA22 ,  4D075CA47 ,  4D075DA06 ,  4D075DA31 ,  4D075DB13 ,  4D075DB14 ,  4D075DC24 ,  4D075EA10 ,  4D075EB31 ,  4F041AA02 ,  4F041AA05 ,  4F041AB01 ,  4F041BA13 ,  4F041BA23 ,  4F041BA38 ,  4F042AA02 ,  4F042AA06 ,  4F042AB00 ,  4F042BA08 ,  4F042BA12 ,  4F042CB02 ,  4F042CB08 ,  4F042CB24 ,  4F042DB17 ,  4F042DB41 ,  5C027AA02 ,  5C027AA06 ,  5C040FA01 ,  5C040GC19 ,  5C040GD09 ,  5C040JA13 ,  5C040MA10 ,  5C040MA24 ,  5C040MA26
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (6)
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