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J-GLOBAL ID：200903047509383032

アクリル系重合体および感放射線性樹脂組成物

Inventor： 山本 將史 ,  中村 敦 ,  藤原 考一 ,  西村 幸生
Applicant, Patent owner： JSR株式会社
Agent (1)： 和気 操
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002330869
Publication number (International publication number)：2004203898
Application date： Nov. 14, 2002
Publication date： Jul. 22, 2004
Summary：

【課題】放射線に対する透明性が高く、しかも感度、解像度、ドライエッチング耐性、パターン形状等のレジストとしての基本物性に優れ、特に、コンタクトホール形成に優れる感放射線性樹脂組成物に適したアクリル系重合体を提供する。【解決手段】下記式(5-1)、式(5-2)および式(5-3)で表される繰り返し単位を含むアクリル系重合体。【化1】【選択図】 無

Claim (excerpt)：

下記式(1)、式(2)および式(3)で表される繰り返し単位を含むことを特徴とするアクリル系重合体。

IPC (5)：

C08F220/28 ,  C08F220/16 ,  C08F220/68 ,  G03F7/039 ,  H01L21/027

FI (5)：

C08F220/28 ,  C08F220/16 ,  C08F220/68 ,  G03F7/039 601 ,  H01L21/30 502R

F-Term (24)：

2H025AA01 ,  2H025AA02 ,  2H025AA09 ,  2H025AB16 ,  2H025AC04 ,  2H025AC08 ,  2H025AD03 ,  2H025BE00 ,  2H025BG00 ,  2H025FA03 ,  2H025FA12 ,  2H025FA17 ,  4J100AL08P ,  4J100AL08Q ,  4J100AL08R ,  4J100BA03Q ,  4J100BA11P ,  4J100BC03R ,  4J100BC09Q ,  4J100BC09R ,  4J100BC53P ,  4J100CA05 ,  4J100FA19 ,  4J100JA32