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J-GLOBAL ID：200903047578543335

金属酸化物焼結体およびその用途

Inventor： 松崎 隆造 ,  中村 和正 ,  篠田 英之 ,  内海 健太郎 ,  長崎 裕一 ,  高畑 努
Applicant, Patent owner： ジオマテック株式会社 ,  東ソー株式会社
Agent (1)： 岸田 正行 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999289815
Publication number (International publication number)：2001151572
Application date： Oct. 12, 1999
Publication date： Jun. 05, 2001
Summary：

【要約】【課題】 フラットパネルディスプレイの透明電極等に用いられるITO薄膜を結晶化温度以上の基板温度で形成した場合においても、ドメイン構造を有さず平坦で、エッチング特性に優れた薄膜を提供する。また、タッチパネルのような膜厚の薄い領域で使用した場合においても、耐熱性、耐湿性に優れ、抵抗率の変化率が小さい透明導電膜を提供することにある。【解決手段】 In、Sn、MgおよびOからなり、Mg含有量(原子比)がMg/(In+Sn+Mg):2.0〜20.0%である金属酸化物焼結体、この金属酸化物焼結体を用いた蒸着材料/スパッタリングターゲット、In、Sn、MgおよびOからなり、Mg含有量(原子比)がMg/(In+Sn+Mg):2.0〜20.0%である透明導電性膜、およびこの透明導電性膜を含んでなる、フラットパネルディスプレイ、タッチパネル等に関する。

Claim (excerpt)：

実質的にインジウム、スズ、マグネシウムおよび酸素からなり、マグネシウムがMg/(In+Sn+Mg)の原子比で2.0〜20.0%の割合で含有されていることを特徴とする金属酸化物焼結体。

IPC (6)：

C04B 35/495 ,  C23C 14/24 ,  C23C 14/34 ,  H01B 1/08 ,  H01B 5/14 ,  H01B 12/06

FI (6)：

C23C 14/24 E ,  C23C 14/34 A ,  H01B 1/08 ,  H01B 5/14 Z ,  H01B 12/06 ,  C04B 35/00 J

F-Term (19)：

4G030AA08 ,  4G030AA30 ,  4G030AA39 ,  4G030BA02 ,  4G030BA15 ,  4K029BA50 ,  4K029BC00 ,  4K029BC09 ,  4K029DC05 ,  5G301CA02 ,  5G301CA23 ,  5G301CA30 ,  5G301CD02 ,  5G301CD10 ,  5G307FA01 ,  5G307FB01 ,  5G307FC04 ,  5G307FC06 ,  5G307FC10

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (2)

• 透明導電膜
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平7-094473   Applicant：グンゼ株式会社
• 透明導電性積層体
  Gazette classification：公開公報   Application number：特願平5-138427   Applicant：帝人株式会社