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J-GLOBAL ID：200903047583199383

透明導電膜のパターニング方法

Inventor： 高木 悟 ,  河村 有紀
Applicant, Patent owner： 旭硝子株式会社
Agent (1)： 泉名 謙治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995154808
Publication number (International publication number)：1997005765
Application date： Jun. 21, 1995
Publication date： Jan. 10, 1997
Summary：

【要約】【構成】パターニング用マスクとして、耐酸性と弾力性とを有するゴムまたは樹脂からなるマスク1を用い、該マスクを基体3上の透明導電膜2に密着させた後、酸性溶液4を用いてエッチングを行う透明導電膜のパターニング方法。【効果】TFT型LCDの共通電極、タッチパネル用電極などのパターン精度100μm程度の透明電極パターンを効率よく加工でき、しかも低コストで実現できる。

Claim (excerpt)：

基体上に形成した透明導電膜をパターニングする際に、パターニング用マスクとして、耐酸性と弾力性とを有するゴムまたは樹脂からなるマスクを用い、該マスクを透明導電膜に密着させた後、酸性溶液を用いてエッチングを行うことを特徴とする透明導電膜のパターニング方法。

IPC (3)：

G02F 1/1343 ,  H01L 29/786 ,  H01L 21/336

FI (2)：

G02F 1/1343 ,  H01L 29/78 612 D