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J-GLOBAL ID：200903047588553320

ボンディング装置

Inventor： 竹山 茂
Applicant, Patent owner： 株式会社カイジョー
Agent (1)： 羽切 正治
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998166050
Publication number (International publication number)：1999345821
Application date： May. 29, 1998
Publication date： Dec. 14, 1999
Summary：

【要約】【課題】 治具が無い場合であっても予め寸法等が既知であるマガジン等を利用して機差補正が可能であり、また装置に搭載されるマガジンの寸法等が既知で無い場合であっても予め寸法等が既知である他のマガジン等を利用して機差補正が可能で、かつ機差補正による補正データを算出すること。【解決手段】 原点位置Oからガイドレールのレール面までの距離h及びマガジンMの第1段目のリードフレームの載置面からマガジンMの底面までの距離xを予めメモリ内に設定しておき、原点位置Oに機差が生じた場合には、新たな原点位置O’からレール面までの距離h’を算出してマガジン受部4の上面から原点位置O’までの距離を求めて、前記原点位置OとO’とのずれ量Δlを求めて機差補正のデータとする。

Claim (excerpt)：

フレームを複数枚収容可能なマガジンをフレーム配列方向に移動させて位置決めする位置決め手段と、前記マガジンをその移動方向に対して略垂直な面内において規制する規制手段と、前記位置決め手段及び前記規制手段により規制されたマガジン内のフレームを案内する案内手段と、前記案内手段の案内方向に沿って前記フレームを移送するフレーム移送手段と、前記フレーム移送手段により移送されるフレームを載置してボンディング作業を行うステージと、前記位置決め手段、前記規制手段、前記案内手段、前記フレーム移送手段等の制御を行い、かつ記憶手段を有する制御手段とを備えてなるボンディング装置であって、前記制御手段は、前記マガジン及び前記フレームの各寸法等の既知の情報を予め記憶手段に記憶させ、予め設定した作動開始位置から可動体までの距離に機差がある場合には、前記マガジン及び前記フレームの各寸法等の既知の情報を用いて機差補正を行うことを特徴とするボンディング装置。

IPC (3)：

H01L 21/60 301 ,  H01L 21/60 ,  H01L 21/50

FI (5)：

H01L 21/60 301 K ,  H01L 21/60 301 B ,  H01L 21/50 D ,  H01L 21/50 A ,  H01L 21/50 F