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J-GLOBAL ID：200903047588568786

ビーム位置検出装置、及びこれを有する露光装置

Inventor： 大串 信明
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 丸島 儀一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995078775
Publication number (International publication number)：1996279447
Application date： Apr. 04, 1995
Publication date： Oct. 22, 1996
Summary：

【要約】【目的】 信頼性の高いビーム位置検出装置やこれを有する露光装置を提供すること。【構成】 シンクロトロン放射光のビーム位置を検出する装置において、ディテクタの機能(故障もしくは劣化)を診断する手段を設けたことを特徴とする。診断の方法としては、ディテクタの出力値と閾値とに基づいて診断を行う、あるいはシンクロトロン放射源の電流値とディテクタ出力値とに基づいて診断を行う。

Claim (excerpt)：

ディテクタを有するビーム位置検出装置において、ディテクタの機能を診断する手段を設けたことを特徴とするビーム位置検出装置。

IPC (2)：

H01L 21/027 ,  G03F 9/00

FI (4)：

H01L 21/30 531 A ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 531 S ,  H01L 21/30 531 Z