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J-GLOBAL ID：200903047601850798

分布ブラッグ反射ミラー多層膜を有する半導体装置

Inventor： 下山 謙司 ,  後藤 秀樹
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 長谷川 曉司
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995281960
Publication number (International publication number)：1996213654
Application date： Oct. 30, 1995
Publication date： Aug. 20, 1996
Summary：

【要約】【課題】 高輝度かつ単色性及び指向性のよい青又は緑色の半導体発光装置を提供する。【解決手段】 基板上に形成されたAlGaInN系からなる発光層の上下どちらかの少なくとも片側にAl<SB>x</SB>Ga<SB>1<HAN>ー</HAN>x</SB>P(0≦x<1)層とAl<SB>y</SB>Ga<SB>1<HAN>ー</HAN>y</SB>P(0<y≦1、x<y)層を交互に積層した分布帰還型反射ミラー多層膜を設けたことを特徴とする半導体装置。

Claim (excerpt)：

基板上に形成されたAlGaInN系からなる発光層の上下どちらかの少なくとも片側にAl<SB>x</SB>Ga<SB>1<HAN>ー</HAN>x</SB>P(0≦x<1)層とAl<SB>y</SB>Ga<SB>1<HAN>ー</HAN>y</SB>P(0<y≦1、x<y)層を交互に積層した分布ブラッグ反射ミラー多層膜を設けたことを特徴とする半導体装置。

IPC (3)：

H01L 33/00 ,  H01L 21/205 ,  H01S 3/18