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J-GLOBAL ID：200903047604229539
固体撮像素子
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
尾身 祐助
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994030831
Publication number (International publication number)：1995221277
Application date： Feb. 03, 1994
Publication date： Aug. 18, 1995
Summary：
【要約】【目的】 オプティカルブラック(OB)領域において、マイクロレンズにより入射光が光電変換領域表面に集光されることのないようにしてOB領域の遮光性を高める。【構成】 半導体基板1上のp型不純物層2内に光電変換領域3を形成し、基板上に電荷転送電極5、遮光膜7及び平坦化膜8を形成し、その上にマイクロレンズ9a、9bを形成する。受光領域50におけるマイクロレンズ9aは、入射光を光電変換領域3表面に集光する形状に形成されるが、OB領域60におけるマイクロレンズ9bは、その焦点距離が受光領域のマイクロレンズ9aのそれより小さく(図1に示す場合)或は大きくなるように形成される。
Claim (excerpt)：
複数列に配列されたフォトダイオードと、各フォトダイオード列毎に設けられた、フォトダイオードにおいて生成され蓄積された信号電荷を読み出しこれを転送する複数のCCDレジスタと、少なくとも各CCDレジスタ上を覆う遮光膜と、各フォトダイオード毎に設けられた当該フォトダイオードへの入射光を集光するマイクロレンズと、を備える受光領域と、複数列に配列されたフォトダイオードと、各フォトダイオード列毎に設けられた、フォトダイオードにおいて生成され蓄積された信号電荷を読み出しこれを転送する複数のCCDレジスタと、全体を覆う遮光膜と、を備えるオプティカルブラック領域と、を有する固体撮像素子において、前記オプティカルブラック領域における前記受光領域寄りの一部のフォトダイオード列のフォトダイオード上にはマイクロレンズが設けられ、かつ、オプティカルブラック領域における他のフォトダイオード列のフォトダイオード上には当該フォトダイオードに焦点を結ぶマイクロレンズは形成されていないことを特徴とする固体撮像素子。
Patent cited by the Patent：
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