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J-GLOBAL ID：200903047607555100
ウェハ位置調整装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
鈴江 武彦 (外4名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999268767
Publication number (International publication number)：2000164680
Application date： Sep. 22, 1999
Publication date： Jun. 16, 2000
Summary：
【要約】【課題】非接触でウェハ中心を検出できるとともに、小型で製造コストを低減できるウェハ位置調整装置を提供する。【解決手段】ウェハ位置調整装置は、光ビームを対物レンズ41を介して対象物に投光し対象物から戻ってくる光ビームに基づいて前記対象物に対する焦点合わせを行うオートフォーカスユニット42を有するウェハ検査用の顕微鏡に備えられる。本装置では、テーブル1に載置されたウェハ2と前記対物レンズ41との相対的な位置関係を変化させながら、前記対物レンズ41からの光ビームの光量変化を検知することにより、前記ウェハ2の周縁部の4点の位置が求められ、求められた前記ウェハ2の周縁部の4点の位置に基づいてウェハ2の中心位置が算出される。そして、算出された前記中心位置に基づいて前記ウェハ2が位置調整される。
Claim (excerpt)：
光ビームを対物レンズを介して対象物に投光し、対象物から戻ってくる光ビームに基づいて前記対象物に対する焦点合わせを行う合焦手段を有するウェハ検査用の光学機器に備えられるウェハ位置調整装置において、ウェハを載置するためのテーブルと、前記ウェハと前記対物レンズとの相対的な位置関係を変化させる移動手段と、前記対物レンズからの光ビームの光量変化を検知する手段と、前記移動手段の動作中における前記検知手段の検知結果に基づいて前記ウェハの周縁部の少なくともオリエンテーションフラットまたはノッチが含まれない3点のエッジ位置を求め、これらに基づいてウェハの中心位置を算出する手段と、前記算出手段により算出された前記中心位置に基づいて前記ウェハを位置調整する手段とを具備したことを特徴とするウェハ位置調整装置。
IPC (2)：
FI (2)：
H01L 21/68 M
, G01B 11/00 B
