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J-GLOBAL ID：200903047617218641

走査電子顕微鏡

Inventor： 後藤 俊徳
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 井島 藤治 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993026735
Publication number (International publication number)：1994243814
Application date： Feb. 16, 1993
Publication date： Sep. 02, 1994
Summary：

【要約】【目的】 高い分解能と精度で2層に形成されたパターンの重ね合わせ精度の検査などを行うことができる走査電子顕微鏡を実現する。【構成】 走査信号は、スイッチ13により、交互に切り換えられて走査用偏向器10に印加される。このとき、スイッチ16は、スイッチ13に連動して切り換えられており、走査用偏向器8に低加速用走査信号発生器11からの信号が印加されている間は、2次電子検出器14からの信号が、高加速用走査信号発生器12からの信号が印加されている間は反射電子検出器15からの信号が陰極線管17に導かれる。その結果、陰極線管17には、2次電子により形成される試料9の表層の画面と、反射電子により形成される下層の画像が交互に表示される。このスイッチの切り換えを早くすることにより、陰極線管17上では、残像効果により両画像が実質的に重畳して表示され、表層と下層の像の重なり具合を適格に観察することができる。

Claim (excerpt)：

比較的高いエネルギーの電子ビームを発生する第1の電子ビーム照射系と、比較的低いエネルギーの電子ビームを発生する第2の電子ビーム照射系と、第1の電子ビーム照射系からの電子ビームと第2の電子ビーム照射系からの電子ビームとをほぼ同一の光軸に沿って進行させるための偏向系と、偏向系を通過した第1の電子ビーム照射系からの電子ビームと第2の電子ビーム照射系からの電子ビームの双方を同一のレンズ強度により試料上にフォーカスするためのレンズ手段と、試料からの反射電子を検出する反射電子検出器と、試料からの2次電子を検出する2次電子検出器と、試料上の特定視野において、第1の電子ビーム照射系からの電子ビームと第2の電子ビーム照射系からの電子ビームを走査する手段と、第1の電子ビーム照射系からの電子ビームの試料上の走査に基づいて検出された反射電子信号に基づく像と、第2の電子ビーム照射系からの電子ビームの試料上の走査に基づいて検出された2次電子信号とに基づく像とを実質的に重ね合わせて表示するための表示手段とを備えた走査電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J 37/28 ,  H01L 21/66