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J-GLOBAL ID：200903047621689829
プラズマアッシング装置におけるレジストアッシング終点検出方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
船橋 国則
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992297922
Publication number (International publication number)：1994124923
Application date： Oct. 09, 1992
Publication date： May. 06, 1994
Summary：
【要約】【目的】 本発明は、発光強度強いスペクトルでプラズマ発光を検出することにより、またはプラズマ発光の強度に対応する他の現象として、反応室の圧力変動に対応するバルブの開き度を検出することより、終点検出精度の向上を図る。【構成】 酸素プラズマを主体としたプラズマアッシング装置1におけるレジストアッシング終点検出方法であって、アッシング処理中のプラズマ発光のうち、水素スペクトルの発光強度の変化を検出してレジストアッシングの終点を検出する方法である。またはプラズマアッシング装置(図示せず)の反応室中の圧力変化に連動して動作するバルブ(図示せず)の開度を検出することによりレジストアッシングの終点を検出する方法である。
Claim (excerpt)：
酸素プラズマを主体としたプラズマアッシング装置におけるレジストアッシング終点検出方法であって、アッシング処理中のプラズマ発光のうち、水素スペクトルの発光強度の変化を検出してレジストアッシングの終点を検出することを特徴とするプラズマアッシング装置におけるレジストアッシング終点検出方法。
IPC (2)：
H01L 21/302
, H01L 21/304 341
