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J-GLOBAL ID：200903047688898252

波長変換型光検出素子

Inventor： 梶原 賢治 ,  浜本 修 ,  結城 修 ,  田代 和昭 ,  海部 紀之
Applicant, Patent owner： キヤノン株式会社
Agent (1)： 山下 穣平
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000382282
Publication number (International publication number)：2002181940
Application date： Dec. 15, 2000
Publication date： Jun. 26, 2002
Summary：

【要約】【課題】 従来のシンチレータパネルは壁部が不感帯ゾーンとなり、X線量子効率を減少させ、S/N比の低下を招く。【解決手段】 第1の波長光を第2の波長光に変換する材料を埋め込む孔2を囲む側壁5を、当該孔2の面積が第2の波長光を検出する基板に向けて小さくなるようにテーパー状に形成する。

Claim (excerpt)：

一次元もしくは二次元に配列された複数個の孔に入射した第1の波長光を第2の波長光に変換する材料を埋め込んだ基板と、前記第2の波長光を検出する基板とを備えた波長変換型光検出素子において、前記孔を囲む側壁を、当該孔の面積が第2の波長光を検出する基板に向けて小さくなる形状に形成したことを特徴とする波長変換型光検出素子。

IPC (7)：

G01T 1/20 ,  G01T 1/00 ,  G21K 4/00 ,  H01L 27/14 ,  H01L 31/09 ,  H04N 5/32 ,  H04N 5/335

FI (8)：

G01T 1/20 B ,  G01T 1/20 E ,  G01T 1/00 B ,  G21K 4/00 A ,  H04N 5/32 ,  H04N 5/335 U ,  H01L 27/14 K ,  H01L 31/00 A

F-Term (46)：

2G083AA02 ,  2G083AA04 ,  2G083CC03 ,  2G083DD11 ,  2G083EE01 ,  2G083EE02 ,  2G083EE03 ,  2G088EE01 ,  2G088EE30 ,  2G088FF02 ,  2G088FF04 ,  2G088FF14 ,  2G088GG13 ,  2G088GG16 ,  2G088GG19 ,  2G088GG20 ,  2G088JJ04 ,  2G088JJ05 ,  2G088JJ09 ,  2G088JJ12 ,  2G088JJ37 ,  2G088LL11 ,  2G088LL12 ,  2G088LL15 ,  4M118AA01 ,  4M118AB01 ,  4M118BA05 ,  4M118BA06 ,  4M118CB06 ,  4M118CB11 ,  4M118FA06 ,  4M118FA08 ,  4M118FB08 ,  4M118FB09 ,  4M118GD04 ,  4M118GD07 ,  4M118GD20 ,  5C024AX12 ,  5C024CX03 ,  5C024CX37 ,  5C024CY47 ,  5F088BA03 ,  5F088BB03 ,  5F088EA02 ,  5F088JA17 ,  5F088LA08