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J-GLOBAL ID：200903047691411240

オルガノシロキサンオリゴマー液及びそれを用いた有機塗布ガラス膜の形成方法

Inventor： 古澤 健志 ,  本間 喜夫 ,  佐藤 任廷 ,  島村 泰夫 ,  森嶋 浩之 ,  山本 靖浩
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所 ,  日立化成工業株式会社
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994227589
Publication number (International publication number)：1995166132
Application date： Sep. 22, 1994
Publication date： Jun. 27, 1995
Summary：

【要約】【目的】 平坦化効果に優れ、かつ膜質の良い有機塗布ガラス膜を提供する。【構成】 ケイ素原子1molに対してケイ素原子に結合しているメチル基が0.6mol以上になるように、n=0,1もしくn=0,1,2のアルコキシシラン(RnSi(OR’)4-n)を混合し、アルコキシシランの共加水分解の際にリン酸や硝酸等の酸触媒を、アルコキシシラン1molに対して、0.0001mol以上0.01mol以下添加してオルガノシロキサンオリゴマー液を形成し、これを基板に塗布した後熱処理することによって有機塗布ガラス膜を形成する。

Claim (excerpt)：

テトラアルコキシシランとメチルトリアルコキシシラン、またはテトラアルコキシシランとメチルトリアルコキシシランとジメチルジアルコキシシランを原料とし、重合開始温度が125°C以上であり、かつ基板上に塗布されたとき、前記重合開始温度の膜厚に対する100°Cにおける膜厚は1.2以上4未満であることを特徴とするオルガノシロキサンオリゴマー液。

IPC (5)：

C09D183/04 PMS ,  B05D 7/24 302 ,  C08G 77/06 NUB ,  H01L 21/312 ,  H01L 21/768

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

• 特開昭64-009231
  
• 特開昭62-230828
  
• 特開平1-216543
  
• 特開平4-352456