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J-GLOBAL ID：200903047719528610
バンプ外観検査装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
伊東 忠彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993032271
Publication number (International publication number)：1994242016
Application date： Feb. 22, 1993
Publication date： Sep. 02, 1994
Summary：
【要約】【目的】 本発明は基板上に形成されたバンプ電極の形状を検査するバンプ外観検査装置に関し、バンプ電極の表面光沢を自動的かつ高精度に検査することを目的とする。【構成】 ウエハ22に形成されるチップ11上に設けられたバンプ電極に光源30a,30bより照明光を照射し、その反射光をカメラ29で撮像する。この撮像画像より検査手段31の係数検出回路43により光反射率における光反射係数及び拡散反射量における散乱反射係数を求め、これよりボンディング性検査回路44でバンプ電極の表面状態を評価、検査する構成とする。
Claim (excerpt)：
チップ(11)上に二次元配列で形成されたバンプ電極(12)に、照明光を照射する照明手段(30a,30b)と、該照明光による該バンプ電極(12)からの反射光を受光する検知手段(28,29)と、該検知手段(28,29)からの該反射光より、該照明光に対する光反射率及び拡散反射量を検出して該バンプ電極(12)の表面状態を検査する検査手段(31)と、を有することを特徴とするバンプ外観検査装置。
IPC (3)：
G01N 21/88
, G01B 11/24
, H01L 21/321
