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J-GLOBAL ID：200903047724064762

感光性エレメント、その積層方法及びレジスト形成方法

Inventor： 塚田 勝重 ,  大友 聡 ,  丹野 清吉 ,  天野倉 仁 ,  中野 昭夫
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 若林 邦彦
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1993331071
Publication number (International publication number)：1995191455
Application date： Dec. 27, 1993
Publication date： Jul. 28, 1995
Summary：

【要約】【目的】 凹凸基板に対する被覆性を改良した感光性エレメントを提供する。【構成】 支持体フィルム(a)上に接着層(b)、高伸長性の可撓性フィルム(c)及び感光性樹脂組成物の層(d)を順次形成してなり、かつ(a)と(b)との層間接着力が、(b)と(c)との層間接着力よりも大きく、また(b)と(c)との層間接着力が(c)と(d)との層間接着力より小さいことを特徴とする感光性エレメント。

Claim (excerpt)：

支持体フィルム(a)上に接着層(b)、高伸長性の可撓性フィルム(c)及び感光性樹脂組成物の層(d)を順次形成してなり、かつ(a)と(b)との層間接着力が、(b)と(c)との層間接着力よりも大きく、また(b)と(c)との層間接着力が(c)と(d)との層間接着力より小さいことを特徴とする感光性エレメント。

IPC (7)：

G03F 7/004 512 ,  B32B 27/00 ,  B32B 31/00 ,  G03F 7/115 ,  G03F 7/16 ,  H05K 3/00 ,  H05K 3/28