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J-GLOBAL ID：200903047734000819
走査型露光装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
阪本 善朗
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996021812
Publication number (International publication number)：1997199402
Application date： Jan. 12, 1996
Publication date： Jul. 31, 1997
Summary：
【要約】【課題】 走査型露光装置において、レチクルパターンの一部分を選択的に露光できる走査シャッターを設ける。【解決手段】 露光光LはレチクルRのレチクルパターンを帯状領域に限定してウエハWに投影するものであり、レチクルRとウエハWを同期的に走査させることでレチクルパターン全体を転写する。試作品の製作のためにレチクルパターンの一部分だけを選択的に露光するときは、露光光Lの有効ビーム幅Fより大きいシャッター開口を有する走査シャッター15を、その一端をシャッター駆動装置16の回転ドラムに巻き取ることでレチクルRと同期的に走査させる。
Claim (excerpt)：
レチクルのレチクルパターンを部分的にウエハに投影する露光光を発生する光源と、前記レチクルと前記ウエハを同期的にそれぞれ走査させるレチクル走査ステージおよびウエハ走査ステージと、前記露光光の有効ビーム幅より大きい開口幅のシャッター開口を備えたフィルム状の走査シャッターと、該走査シャッターを、その一端を巻き取ることで前記露光光の光路を横切って走査させる回転駆動手段を有する走査型露光装置。
IPC (2)：
H01L 21/027
, G03F 7/20 521
H01L 21/30 518
, G03F 7/20 521
, H01L 21/30 515 E
