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J-GLOBAL ID：200903047741542899

フィルムの厚さ及び屈折率を測定するための方法及び装置

Inventor： シャリーニ・ヴェンカテシュ ,  ウエイン・ヴィー・ソリン ,  ブライアン・エル・ヘフナー
Applicant, Patent owner： ヒューレット・パッカード・カンパニー
Agent (1)： 上野 英夫
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1996204409
Publication number (International publication number)：1997119813
Application date： Aug. 02, 1996
Publication date： May. 06, 1997
Summary：

【要約】【課題】フィルムの厚さと屈折率とをモニタする。【解決手段】低コヒーレンス光源[12]から光信号を発生し、部分的に透明な第1の反射鏡[25]と、被測定フィルム[15]とを通過させ第2の反射鏡[26]によって反射する。反射された光信号はフィルムと第1の反射鏡を通って集光手段[16]で集められ受信器[18]に入力される。受信器は入力光信号からフィルムの上下表面で反射された光信号間の時間遅延を求め、フィルムを配置したことのよる第1と第2の反射鏡間における光路の変化を求める。

Claim (excerpt)：

上部表面と下部表面を備えた透明フィルムの厚さを測定するための装置において、低コヒーレンス光源からプローブ光信号を発生し、前記プローブ光信号を前記フィルムに加えるための手段と、部分的に透明な第1の反射鏡と、前記第1の反射鏡と、前記フィルムとを通過した前記プローブ光信号を、前記第1の反射鏡に向かって反射するための第2の反射鏡と、前記反射によって前記第1の反射鏡に向かって戻されたプローブ光信号を集めるための手段と、前記集められたプローブ光信号を受信し、前記フィルムの上部表面によって反射されたプローブ光信号と下部表面によって反射されたプローブ光信号との間の時間遅延を求め、前記第1と第2の反射鏡の間に前記フィルムを配置した場合の、前記第1と第2の反射鏡間における光路の変化を求めるための受信器とを備えた、測定装置。

IPC (2)：

G01B 11/06 ,  G01N 21/41

FI (2)：

G01B 11/06 G ,  G01N 21/41 Z

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (3)

• 特開昭59-131106
  
• 特開平2-167411
  
• 特開平4-315939
  

Cited by examiner (1)

• 特開昭59-131106