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J-GLOBAL ID：200903047742876170
リーク検出方法
Inventor：
Applicant, Patent owner：
,
Agent (1)：
井桁 貞一
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991227580
Publication number (International publication number)：1993067665
Application date： Sep. 09, 1991
Publication date： Mar. 19, 1993
Summary：
【要約】【目的】 プラズマ処理室のリーク検出方法に関し,即時に反応容器のリークを検出できる方法を提供し,たとえリークが発生してもウエハの処理不良を最小限にとどめることを目的とする。【構成】 反応容器内に発生した反応ガスのプラズマの発光スペクトルを観測し,大気の成分である酸素もしくは窒素の発光強度と,反応ガスの成分元素の発光強度との比を用いて該反応容器のリークの基準を設定するように構成する。
Claim (excerpt)：
反応容器内に発生した反応ガスのプラズマの発光スペクトルを観測し,大気の成分である酸素もしくは窒素の発光強度と,反応ガスの成分元素の発光強度との比を用いて該反応容器のリークの基準を設定することを特徴とするリーク検出方法。
IPC (3)：
H01L 21/66
, H01L 21/205
, H01L 21/302
