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J-GLOBAL ID：200903047747162729
電子線照射装置
Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
渡邉 勇 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999159266
Publication number (International publication number)：2000346998
Application date： Jun. 07, 1999
Publication date： Dec. 15, 2000
Summary：
【要約】【課題】 より高い冷却効率で電子取出し用の窓箔及び窓箔取付けフランジを有効に冷却できるようにした電子線照射装置を提供する。【解決手段】 電子線の加速管2または走査管3の端部に、取付けフランジ4を介して電子線を大気側に取出すための窓箔6を取付けた電子線照射装置において、取付けフランジ4には、取付けフランジ4の内周面に形成された環状の溝と環状の溝10の開口端を閉塞する蓋体11とにより冷却媒体通路13が設けられている。
Claim (excerpt)：
電子線の加速管または走査管の端部に、取付けフランジを介して電子線を大気側に取出すための窓箔を取付けた電子線照射装置において、前記取付けフランジには、該取付けフランジの内周面に形成された環状の溝と該環状の溝の開口端を閉塞する蓋体とにより冷却媒体通路が設けられていることを特徴とする電子線照射装置。
IPC (2)：
FI (2)：
G21K 5/00 C
, G21K 5/04 E
