フッ素化ポリマー

Inventor： , , ,
Applicant, Patent owner：
Agent (6)：社本一夫 , 増井忠弐 , 小林泰 , 千葉昭男 , 富田博行 , 沖本一暁
Gazette classification：公表公報
Application number (International application number)：2004503516
Publication number (International publication number)：2006511628
Application date： May. 07, 2003
Publication date： Apr. 06, 2006
Summary：

架橋された複素環式化合物、フッ素化ノルボルネン化合物、フッ素化アルケン、複素環式化合物、およびこれらの2またはそれ以上の組み合わせ、から誘導されるポリマーが提供される。このポリマーはフォトレジスト組成物を含む広範囲の用途に使用される。また、このポリマーに使用するためのモノマー化合物の製造方法も提供される。

Claim (excerpt)：

(a)化学式IAの架橋された複素環式化合物:

IPC (14)：

C08F 34/00 , C07B 37/12 , C07C 33/42 , C07C 33/44 , C07C 43/192 , C07C 69/753 , C07D 487/08 , C07D 493/08 , C08F 16/04 , C08F 20/22 , C08F 32/08 , C08F 34/02 , C08G 61/08 , G03F 7/039

FI (14)：

C08F34/00 , C07B37/12 , C07C33/42 , C07C33/44 , C07C43/192 , C07C69/753 C , C07D487/08 , C07D493/08 , C08F16/04 , C08F20/22 , C08F32/08 , C08F34/02 , C08G61/08 , G03F7/039 601

F-Term (83)：

2H025AA01 , 2H025AA09 , 2H025AB16 , 2H025AB17 , 2H025AC04 , 2H025AC08 , 2H025AD03 , 2H025BE00 , 2H025BE10 , 2H025BH00 , 2H025BJ10 , 2H025CB41 , 2H025CB45 , 4C050AA03 , 4C050BB04 , 4C050CC04 , 4C050EE01 , 4C050FF02 , 4C050FF03 , 4C050GG01 , 4C050HH01 , 4C071AA03 , 4C071BB01 , 4C071CC11 , 4C071DD08 , 4C071EE05 , 4C071FF15 , 4C071GG02 , 4C071KK01 , 4C071LL05 , 4H006AA01 , 4H006AA02 , 4H006AA03 , 4H006AB46 , 4H006AC28 , 4H006FC34 , 4H006FE11 , 4H006FE71 , 4H006FE74 , 4H006GP02 , 4H006KA34 , 4H006KC20 , 4J032BA02 , 4J032BA09 , 4J032BA12 , 4J032BA14 , 4J032BA25 , 4J032BB01 , 4J032BB03 , 4J032BC03 , 4J032BD07 , 4J032CA34 , 4J032CB03 , 4J032CC07 , 4J032CD02 , 4J032CE03 , 4J032CG06 , 4J100AD07R , 4J100AE09R , 4J100AL24R , 4J100AR11Q , 4J100AR17S , 4J100AR32P , 4J100AR32S , 4J100AR36P , 4J100AR36S , 4J100BA03P , 4J100BA03Q , 4J100BA03R , 4J100BA16P , 4J100BA16Q , 4J100BA20P , 4J100BA20Q , 4J100BB07P , 4J100BB07Q , 4J100BB11P , 4J100BB11R , 4J100BB12R , 4J100BB17Q , 4J100BB18R , 4J100CA01 , 4J100CA05 , 4J100CA06

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