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J-GLOBAL ID：200903047755342671

カラーフィルターレジスト溶液

Inventor： 浦野 年由 ,  檜野 悦子
Applicant, Patent owner： 三菱化学株式会社
Agent (1)： 重野 剛
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995022771
Publication number (International publication number)：1996220743
Application date： Feb. 10, 1995
Publication date： Aug. 30, 1996
Summary：

【要約】【目的】 色材料、光重合開始系、エチレン性化合物、界面活性剤及び溶剤を含有するカラーフィルターレジスト溶液の、現像性、透明性、耐溶剤性、基板との接着性を改善する。【構成】 アニオン性界面活性剤を色材料の5〜40重量%含む。界面活性剤の色材料への吸着量が色材料の2〜15重量%。色材料を平均粒径0.2μm以下に分散させる。【効果】 アニオン性界面活性剤は、色材料を高濃度にカラーフィルターレジスト溶液中に分散させる。また、塗布、パターン露光後、現像した際に、露光部分のカラーフィルターレジストの基板との密着性を低下させることなく、高濃度に色材料を含有するカラーフィルターレジストの未露光部分を現像中に速やかに溶出させる。露光部分の基板との十分な接着性を保持し、良好な現像性を実現し、高品質なレジストパターンを形成できる。

Claim (excerpt)：

色材料、光重合開始系、エチレン性化合物、界面活性剤及び溶剤を含有するカラーフィルターレジスト溶液において、該界面活性剤がアニオン性界面活性剤であり、その含有量が色材料の5〜40重量%であり、該界面活性剤の色材料への吸着量が色材料の2〜15重量%であり、かつ、色材料は平均粒径0.2μm以下の分散粒子として分散していることを特徴とするカラーフィルターレジスト溶液。

IPC (6)：

G03F 7/004 504 ,  G03F 7/004 505 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  H01J 29/32

FI (6)：

G03F 7/004 504 ,  G03F 7/004 505 ,  G02B 5/20 101 ,  G03F 7/027 502 ,  G03F 7/028 ,  H01J 29/32