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J-GLOBAL ID:200903047756106777

光導波路型縮小イメージセンサ及びその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 梅田 勝
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996205529
Publication number (International publication number):1998051589
Application date: Aug. 05, 1996
Publication date: Feb. 20, 1998
Summary:
【要約】【課題】 本発明は、高感度で、高S/N比での読み取りが可能で、且つ、作製工程が簡単で小型の光導波路型縮小イメージセンサを提供することを目的とする。【解決手段】 入力画像を集光する複数のマイクロレンズがアレイ化された第1のマイクロレンズアレイ2と、第1のマイクロレンズアレイ2により集光された光を導き入力画像を縮小する複数本のコア4を備えた光導波路アレイ基板3と、光導波路アレイ基板3から出射された光を受光し電気信号に変換する光電変換素子アレイ6とから構成される光導波路型縮小イメージセンサにおいて、第1のマイクロレンズアレイ2の各単一のマイクロレンズが光導波路アレイ基板3の複数本のコア4の光入射端に結像させるように第1のマイクロレンズアレイ2を光導波路アレイ基板3の光入射端側に配置して構成する。
Claim (excerpt):
入力画像を集光する複数のマイクロレンズがアレイ化された第1のマイクロレンズアレイと、該第1のマイクロレンズアレイにより集光された光を導き入力画像を縮小する複数本のコアを備えた光導波路アレイ基板と、該光導波路アレイ基板から出射された光を受光し電気信号に変換する光電変換素子アレイとから構成される光導波路型縮小イメージセンサにおいて、前記第1のマイクロレンズアレイの各単一のマイクロレンズが前記光導波路アレイ基板の複数本のコアの光入射端に結像させるように前記第1のマイクロレンズアレイを前記光導波路アレイ基板の光入射端側に配置したことを特徴とする光導波路型縮小イメージセンサ。
IPC (5):
H04N 1/028 ,  G02B 6/12 ,  G02B 6/42 ,  H01L 27/14 ,  H04N 1/19
FI (5):
H04N 1/028 Z ,  G02B 6/42 ,  G02B 6/12 Z ,  H01L 27/14 D ,  H04N 1/04 102

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