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J-GLOBAL ID：200903047778361339

位置決め手法、及び位置決め装置

Inventor： 三村 正文 ,  杉原 太郎
Applicant, Patent owner： 株式会社ニコン
Agent (4)： 前田 均 ,  西出 眞吾 ,  大倉 宏一郎 ,  佐藤 美樹
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2005292866
Publication number (International publication number)：2007102580
Application date： Oct. 05, 2005
Publication date： Apr. 19, 2007
Summary：

【課題】外乱に影響されることが少なく、撮像された対象物のエッジをより正確に検出する。【解決手段】対象物のエッジを含む領域を撮像するように2次元的に配列された複数の画素から得られた画像を処理する画像処理方法であって、画素の配列方向の一方である第1方向に配列された画素に係る画素情報を累積的に加算し、画素の配列方向の他方である第2方向の1次元情報を得る第1ステップ(S13,S14)と、該1次元情報を微分した微分情報を得る第2ステップ(S15)と、該微分情報に基づいて、対象物のエッジ位置を決定する第3ステップ(S16)とを含んで構成される。【選択図】 図2

Claim (excerpt)：

対象物のエッジを含む領域を撮像するように2次元的に配列された複数の画素から得られる画像を処理する画像処理方法であって、 前記画素の配列方向の一方である第1方向に配列された前記画素に係る画素情報を累積的に加算し、前記画素の配列方向の他方である第2方向の1次元情報を得る第1ステップと、 前記1次元情報を微分した微分情報を得る第2ステップと、 前記微分情報に基づいて、前記対象物のエッジ位置を決定する第3ステップと、 を含むことを特徴とする画像処理方法。

IPC (3)：

G06T 7/60 ,  G06T 1/00 ,  H01L 21/027

FI (3)：

G06T7/60 250A ,  G06T1/00 305C ,  H01L21/30 516B

F-Term (25)：

5B057AA03 ,  5B057CA08 ,  5B057CA12 ,  5B057CA16 ,  5B057CE06 ,  5B057DA07 ,  5B057DB02 ,  5B057DB09 ,  5B057DC16 ,  5B057DC19 ,  5F046BA04 ,  5F046BA05 ,  5F046CC08 ,  5F046CD01 ,  5F046DB04 ,  5F046DC09 ,  5F046DC11 ,  5F046DD06 ,  5L096AA06 ,  5L096BA08 ,  5L096CA02 ,  5L096FA06 ,  5L096FA36 ,  5L096FA69 ,  5L096GA02

Patent cited by the Patent：

Cited by applicant (1)

• 国際公開第99/49504号パンフレット