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J-GLOBAL ID：200903047789240860

窒化物表面の改質方法及びその方法により表面改質された窒化物

Inventor： 高 錫 勤 ,  丁 炯 鎭 ,  崔 源 國 ,  孫 容 培
Applicant, Patent owner： 財団法人韓国科学技術研究院
Agent (1)： 津国 肇 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997102028
Publication number (International publication number)：1998101459
Application date： Apr. 18, 1997
Publication date： Apr. 21, 1998
Summary：

【要約】 (修正有)【課題】高分子、セラミック、ITO又はガラスの表面の接触角を変化させ、接着力を増大させる窒化物表面の改質方法、及びその方法により表面改質された窒化物を提供する。【解決手段】真空状態下で反応性ガスを高分子又は窒化物表面に直接吹き込みながら、エネルギーを有するイオン粒子を高分子又は窒化物表面に照射して表面の接触角を減少させて、高分子又は窒化物表面を改質する方法及びその方法により得た窒化物に銅薄膜を成膜させて得る銅直接結合窒化アルミニウム材料。

Claim (excerpt)：

真空状態下で、反応性ガスを窒化物表面に直接吹き込みながら、エネルギーを有するイオン粒子を窒化物表面に照射して行う、窒化物表面の改質方法。

IPC (8)：

C04B 41/80 ,  B01J 19/00 ,  C01B 21/072 ,  C03C 21/00 ,  C04B 35/581 ,  C04B 41/88 ,  C08J 7/00 306 ,  H01L 23/373

FI (8)：

C04B 41/80 B ,  B01J 19/00 D ,  C01B 21/072 R ,  C03C 21/00 Z ,  C04B 41/88 Z ,  C08J 7/00 306 ,  C04B 35/58 104 Z ,  H01L 23/36 M

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (3)

• 特開昭63-206461
  
• 特開平2-252681
  
• 特開平3-164485