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J-GLOBAL ID：200903047791693820

光導波路型ブラッグ回折格子およびその製造方法

Inventor： 山下 建 ,  小山 正 ,  山口 淳
Applicant, Patent owner： 日本板硝子株式会社
Agent (1)： 大野 精市
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2000288298
Publication number (International publication number)：2002098848
Application date： Sep. 22, 2000
Publication date： Apr. 05, 2002
Summary：

【要約】【課題】ホトリソグラフィを用いて凹凸構造を形成し、回折格子を作製する方法は柔軟性に乏しく周期や凹凸の形状に制限があり、素子設計の要請に応えられない場合がある。一方、紫外光照射による方法は生起できる屈折率変化の程度が小さく、小型の導波路素子では十分な性能を得るのが難しい。【解決手段】Al2O3を含むガラスのような光誘起屈折率変化を起こしやすいガラス材料とB2O3を含むガラスのように変化を起こしにくいガラス材料の積層体に対し、集光したレーザ光を照射し、かつレーザ光強度を周期的に変化させながら一定速度で集光点を移動させることにより、周期的屈折率変化領域を生成させて光導波路型ブラッグ回折格子が形成できる。

Claim (excerpt)：

光照射により構造変化を起こし屈折率が変化するガラス材料でコア層を構成し、前記光照射によって屈折率が実質的に変化しないガラス材料でクラッド層を構成した薄膜光導波路に対して、コア層部分に光軸方向に沿って周期的屈折率変化領域を形成したことを特徴とする光導波路型ブラッグ回折格子。

IPC (5)：

G02B 6/122 ,  C03C 17/34 ,  C03C 23/00 ,  G02B 5/18 ,  G02B 6/13

FI (5)：

C03C 17/34 Z ,  C03C 23/00 Z ,  G02B 5/18 ,  G02B 6/12 A ,  G02B 6/12 M

F-Term (25)：

2H047KA03 ,  2H047KA05 ,  2H047LA03 ,  2H047PA03 ,  2H047PA04 ,  2H047PA05 ,  2H047PA21 ,  2H047PA24 ,  2H047PA30 ,  2H047QA04 ,  2H047QA07 ,  2H047TA43 ,  2H049AA06 ,  2H049AA33 ,  2H049AA44 ,  2H049AA45 ,  2H049AA48 ,  2H049AA59 ,  2H049AA62 ,  4G059AA08 ,  4G059AA13 ,  4G059AC09 ,  4G059GA02 ,  4G059GA04 ,  4G059GA12