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J-GLOBAL ID：200903047811986927
複屈折量測定方法及び装置
Inventor：
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
阿仁屋 節雄 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992261561
Publication number (International publication number)：1994109623
Application date： Sep. 30, 1992
Publication date： Apr. 22, 1994
Summary：
【要約】【目的】 セナルモン法の原理を応用した複屈折量測定方法の測定精度を向上させる。【構成】 光源1から出た光を第1直線偏光子2で直線偏光にして、回転ステージ6に回転自在に保持した複屈折性の被測定試料3、1/4波長板4及び回転ステージ7に回転自在に保持した第2直線偏光子5を順次通過させて光検出器10で光量変化を測定する。被測定試料3又は第2直線偏光子5を連続回転させながら周期的光量変化を測定して演算処理装置12によってそのフーリエ解析し、その位相情報から被測定試料3を通過したことによる位相ズレ量、すなわち、複屈折量を求める。
Claim (excerpt)：
測定用直線偏光の光路軸上に、複屈折性の試料、1/4波長板、直線偏光子及び光測定手段を順次配置し、前記測定用直線偏光の偏光方位に対して前記1/4波長板の複屈折の主軸方位を一致させるとともに、前記直線偏光子の偏光軸方位を前記測定用直線偏光の偏光方位に直交させておき、次に、前記光路軸の回りに、前記複屈折性の試料を回転させるか、又は、該試料は固定しておいて前記測定用直線偏光の偏光方位、1/4波長板及び直線偏光子を同一角度回転させながら、前記光測定手段で光量を測定してその測定光量が最大を示すまでに回転した角度量を求めて、前記複屈折性試料の複屈折の主軸方位が前記測定用直線偏光の偏光軸方位及び前記直線偏光子の偏光軸方位に対して45°をなすように設定し、次に、前記直線偏光子を前記光路軸の回りに回転させながら、前記光測定手段で光量を測定してその測定光量が最小になる角度を求め、このときに回転開始から測定光量が最小を示すまでに回転した前記直線偏光子の回転角度量を求め、この回転角度量から前記複屈折性試料の複屈折量を求める複屈折量測定方法であって、前記光測定手段による測定光量が最大又は最小を示すときの光学部材の回転角度を求める方法として、前記光学部材を連続回転させ、そのときに前記光測定手段から得られる周期的信号の位相情報から前記測定光量の最大又は最小を示す角度を求める方法を用いることを特徴とした複屈折量測定方法。
Patent cited by the Patent：
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