Pat
J-GLOBAL ID：200903047813058555
軟X線干渉計
Inventor：
,
,
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
山口 隆生
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2002217160
Publication number (International publication number)：2004061186
Application date： Jul. 25, 2002
Publication date： Feb. 26, 2004
Summary：
【課題】ビームスプリッターに透過型回折格子を用いることで、比較的安価で取扱い易く、透過効率の高い軟X線干渉計を提供する。【解決手段】入射軟X線を第1の透過回折格子1に入射すると、入射軟X線のうち特定の波長のX線を光軸に対し上下に等しい角度を持って進む、強度の等しいビーム1とビーム2の2つのビームに分ける。一方のビーム1は上部の全反射鏡3において鏡面反射して折り返される。他方のビーム2は下部の全反射鏡4において鏡面反射して折り返され、ターゲットの位相物体7に照射される。ビーム1とビーム2は図のように等しい角度で光軸に向かうので、光軸上の同一点で交わる。第2の透過回折格子2はビーム1とビーム2をそれぞれ分光する機能を有するので、ビームが重なって干渉する。ビーム1とビーム2によって形成される干渉パターンは、後段の2次元X線検出器5により検出され記録される。【選択図】 図1
Claim (excerpt)：
入射X線の強度を分割するビームスプリッターを有する軟X線干渉計において、ビームスプリッターとして透過回折格子を用いたことを特徴とする軟X線干渉計。
IPC (2)：
FI (3)：
G01N23/02
, G21K1/06 A
, G21K1/06 G
2G001AA01
, 2G001AA07
, 2G001AA09
, 2G001BA29
, 2G001CA01
, 2G001DA09
, 2G001EA01
, 2G001EA08
, 2G001EA09
, 2G001GA06
, 2G001GA08
, 2G001HA12
, 2G001KA01
, 2G001KA20
Cited by applicant (2)
-
特開平4-038500
-
広視野マイケルソンフーリエ分光装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平5-151707
Applicant：富士通株式会社
Cited by examiner (2)
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特開平4-038500
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広視野マイケルソンフーリエ分光装置
Gazette classification：公開公報
Application number：特願平5-151707
Applicant：富士通株式会社
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