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J-GLOBAL ID：200903047827512160

導電性針状構造体及びこれを用いた組立物

Inventor： 引馬 尚子 ,  中野 辰夫 ,  加藤 和男
Applicant, Patent owner： 電気化学工業株式会社
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994241636
Publication number (International publication number)：1996105915
Application date： Oct. 05, 1994
Publication date： Apr. 23, 1996
Summary：

【要約】【目的】 高温においても、多数本のプローブピンが精度よく配置され、プローブピンを介して得られる電気信号を信頼性よく得ることのできる導電性針状構造体及びこれを用いた組立物を提供する。【構成】 直径5〜300μm、アスペクト比1〜500の複数の導電性針状体の一部分を、30〜250°Cにおける熱膨張係数(1/°C)が3.0×10-6〜8.0×10-6の低融点ガラスで包埋し、且つ該導電性針状体の少なくとも一端が該低融点ガラスの面から10μm以上突出してなる導電性針状構造体及びこれを用いた組立物である。

Claim (excerpt)：

直径5〜300μm、アスペクト比1〜500の複数の導電性針状体の一部分を、30°C〜250°Cにおける熱膨張係数(1/°C)が3.0×10-6〜8.0×10-6の低融点ガラスで包埋し、且つ該導電性針状体の少なくとも一端が該低融点ガラスの面から10μm以上突出してなることを特徴とする導電性針状構造体。

IPC (3)：

G01R 1/073 ,  G01R 31/26 ,  H01L 21/66