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J-GLOBAL ID：200903047839784432
クリーンルームの圧力破壊防止装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
田北 嵩晴
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992350010
Publication number (International publication number)：1994174281
Application date： Dec. 03, 1992
Publication date： Jun. 24, 1994
Summary：
【要約】【目的】 クリーンルームの内部圧力が負圧になったとき、外部圧力によって破壊されるのを防止すること。【構成】 クリーンルーム1内に差圧センサ4、過剰負圧防止ダンパ5、破裂板6を設け、クリーンルーム1内の気圧が負圧になったとき、また外気導入装置2に異常が生じたとき、差圧センサ4が負圧を検知して、外気導入装置2、もしくは排気装置3を停止させたり、あるいはクリーンルームが極端な負圧になったときは、過剰負圧防止ダンパ5が開いて外気を導いたり、破裂板6が破裂することによりクリーンルームが負圧により破壊するのを防止している。
Claim (excerpt)：
外気を取り込んで所望の温度及び湿度に空調した空気を送風ファンによってクリーンルームに供給する外気導入装置と、前記クリーンルームから空気を強制的に排出させるための排気装置と、前記クリーンルーム内の室内圧または室内外の差圧を検出するセンサと、前記外気導入装置の停止または異常時に前記外気導入装置からの信号に基づいて、前記排気装置を停止させる制御手段と、前記クリーンルーム内の室内圧が外部に対して第1の設定値以下の負圧になったとき、前記センサの信号に基づいて前記排気装置を停止させる制御手段とを具備することを特徴とするクリーンルームの圧力破壊防止装置。
IPC (2)：
Patent cited by the Patent：
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