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J-GLOBAL ID:200903047839873613

圧電振動子およびその製造方法

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1995099093
Publication number (International publication number):1996293753
Application date: Apr. 25, 1995
Publication date: Nov. 05, 1996
Summary:
【要約】【構成】 外部との導通をとる配線電極12を有するベース11と、ベースに搭載する励振電極を有する圧電体13と、開口部を有し外表面に金属膜を有するフタ16と、ベースとフタとを接合する接合材17と、フタの開口部を気密封止する板材18とを有する圧電振動子およびその製造方法。【効果】 接合部分に溶融状態を生じずガス発生のない陽極接合法により板材でフタの開口部を封孔する。このため、振動子容器内の雰囲気を汚染することがなく、脱ガス成分が圧電体に吸着するなどして、特性の劣化を引き起こすことがなくなる。このために、高い信頼性を有する圧電振動子を提供することが可能となる。
Claim (excerpt):
外部との導通をとる配線電極を有するベースと、ベースに搭載する圧電体と、開口部を有し外表面に金属膜を有するフタと、ベースとフタとを接合する接合材と、フタの開口部を気密封止する板材とを有することを特徴とする圧電振動子。
IPC (3):
H03H 9/10 ,  H03H 3/02 ,  H03H 9/02
FI (3):
H03H 9/10 ,  H03H 3/02 B ,  H03H 9/02 A

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