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J-GLOBAL ID：200903047841047160

研磨パッド及びそれを用いた研磨装置

Inventor： 江頭 克 ,  片伯部 一郎 ,  宮下 直人 ,  間瀬 康一 ,  安部 正泰 ,  北村 敏彦
Applicant, Patent owner： 株式会社東芝
Agent (1)： 鈴江 武彦 (外6名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997263665
Publication number (International publication number)：1999099468
Application date： Sep. 29, 1997
Publication date： Apr. 13, 1999
Summary：

【要約】【課題】 本発明は、目詰まりを抑制すると共に、コンディショニングの有無にかかわらず、研磨の均一性の向上を図る。【解決手段】 厚み方向に沿って貫通する複数の貫通孔が全面に形成され、各貫通孔の直径に相当する内径を有する複数の小管11と、各小管の外径よりも大きい内径を有し、各小管を束ねるための複数の大管12と、各大管の側部を互いに接着するための接着層とを備えた研磨パッド及びそれを用いた研磨装置。

Claim (excerpt)：

厚み方向に沿って貫通する複数の貫通孔が全面に形成されたことを特徴とする研磨パッド。

IPC (2)：

B24B 37/00 ,  H01L 21/304 321

FI (2)：

B24B 37/00 C ,  H01L 21/304 321 E