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J-GLOBAL ID:200903047852607027
空間干渉型光波反射測定装置及びそれを用いた 光波エコートモグラフィー装置
Inventor:
,
Applicant, Patent owner:
,
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1994257706
Publication number (International publication number):1996086745
Application date: Sep. 14, 1994
Publication date: Apr. 02, 1996
Summary:
【要約】【目的】各種異なるコヒーレントな光を光源として、被測定物体内の屈折率の異なる境界面の位置情報を多重干渉による空間的出力パルスの位置の違いとして得る光波反射像測定装置を提供する。【構成】照射光を被測定物体に照射する照射手段と、被測定物体内部からの反射光を干渉計に導く手段と、導かれた反射光を二光路に分割する手段と、分割された二光束を干渉させて空間干渉縞を形成させる干渉手段と、空間干渉縞を検出する一次元光電検出手段と、該一次元光電検出手段上に形成された空間干渉縞の出力パルスの位置より被測定物体の奥行き方向の反射地点を求める空間干渉型光波反射測定装置。
Claim (excerpt):
照射光を被測定物体に照射する照射手段と、被測定物体内部からの反射光を干渉計に導く手段と、導かれた反射光を二光束に分割する手段と、分割された二光束を干渉させて空間干渉縞を形成させる干渉手段と、空間干渉縞を検出する一次元光電検出手段と、該一次元光電検出手段上に形成された空間干渉縞の出力パルスの位置より被測定物体の奥行き方向の反射地点を求める手段と、より構成されたことを特徴とする空間干渉型光波反射測定装置。
IPC (2):
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