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J-GLOBAL ID：200903047862982420

走査トンネル顕微鏡用試料ホルダ

Inventor： 天草貴昭 ,  渡辺 隆
Applicant, Patent owner： 日本電子株式会社
Agent (1)： 阿部 龍吉 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1994193139
Publication number (International publication number)：1996055597
Application date： Aug. 17, 1994
Publication date： Feb. 27, 1996
Summary：

【要約】【目的】冷却STM像観察用試料ホルダにおいて、試料冷却中に一時的に試料を加熱することにより試料表面の吸着物を除去する。また、加熱STM像観察用試料ホルダにおいて、種々の加熱STM像観察を可能にする。【構成】冷却STM像観察用試料ホルダにおいて、ホルダ本体2と、該ホルダ本体の外側に設けられるホルダ冷却部材11と、前記ホルダ本体に絶縁材3を介して固定され、ホルダ本体の外側に突出するように設けられる一対の通電端子5と、該通電端子の片面に固定される電気的絶縁材からなる熱伝導部材7と、前記一対の通電端子に固定される試料固定部材8とを備え、前記熱伝導部材およびホルダ冷却部材を介して独立に試料およびその周囲を冷却可能にすると共に、前記通電端子を介して試料を加熱可能にする。また、加熱STM像観察用試料ホルダにおいて、試料の通電加熱の系とは別に独立した通電系を設ける。

Claim (excerpt)：

試料を冷却した状態で試料と探針との間に流れるトンネル電流を検出しながら探針で試料面を走査し像観察を行う走査トンネル顕微鏡用試料ホルダであって、ホルダ本体と、該ホルダ本体の外側に設けられるホルダ冷却部材と、前記ホルダ本体に絶縁材を介して固定され、ホルダ本体の外側に突出するように設けられる一対の通電端子と、該通電端子の片面に固定される電気的絶縁材からなる熱伝導部材と、前記一対の通電端子に固定される試料固定部材とを備え、前記熱伝導部材およびホルダ冷却部材を介して独立に試料およびその周囲を冷却可能にすると共に、前記通電端子を介して試料を加熱可能にすることを特徴とする走査トンネル顕微鏡用試料ホルダ。

IPC (3)：

H01J 37/20 ,  G01N 1/28 ,  G01N 37/00