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J-GLOBAL ID：200903047866257371
立体形状検出方法及び装置、並びに検査方法及び装置
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
武 顕次郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999305614
Publication number (International publication number)：2001124530
Application date： Oct. 27, 1999
Publication date： May. 11, 2001
Summary：
【要約】【課題】 検査対象物の立体形状を高精度にかつ高速に検査できるようにする。【解決手段】 対物レンズ15によって検査対象物1にスリット光を照明し、その照射領域からの反射光は、穴付きミラー14で反射され、開口しぼり16と結像レンズ17を通った後、ビームスプリッタ18a,18bで3つの光路に分岐され、夫々の分岐光路毎にラインセンサ7a,7bが設けられている。ラインセンサ7aは焦点面の前方側に、ラインセンサ7bは焦点面の後方側に配置され、また、これらラインセンサ7a,7bのn番目の検出画素(セル)は、検査対象物1のスリット光照射領域のn番目の単位領域の像を受光するように、これらラインセンサ7a,7bが位置調整されている。検査対象物1のスリット光照射領域での単位領域の高さに応じてラインセンサ7a,7bの面での像のぼけ量が異なり、このぼけ量に応じた光量をラインセンサ7a,7bのセルが検出する。
Claim (excerpt)：
検査対象物の一直線上の複数の単位領域を光照明し、該検査対象物からの反射光をレンズを介して該レンズの結像面の前後の複数の異なる位置で該単位領域毎に検出し、該検査対象物の光照射領域の幅方向での像のぼけ量に応じた検出光量により、該検査対象物の光照明される該単位領域毎の高さを算出することを特徴とする立体形状検出方法。
F-Term (17)：
2F065AA04
, 2F065AA24
, 2F065AA53
, 2F065BB05
, 2F065CC01
, 2F065FF01
, 2F065FF04
, 2F065GG06
, 2F065GG16
, 2F065JJ02
, 2F065JJ05
, 2F065JJ25
, 2F065LL08
, 2F065LL30
, 2F065MM03
, 2F065PP12
, 2F065QQ31
