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J-GLOBAL ID：200903047867255143

有機高分子膜の製造方法

Inventor： 島田 伸二 ,  大植 誠
Applicant, Patent owner： シャープ株式会社
Agent (1)： 野河 信太郎
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992017757
Publication number (International publication number)：1993216041
Application date： Feb. 03, 1992
Publication date： Aug. 27, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【構成】 減圧槽1内の別個の容器2,3に、2種類の原料5,6を入れて、前記原料を、減圧槽内の上方にとりつけた基板11上に蒸着または昇華させた後に反応させて蒸着膜12を作製する方法において、前記原料の少くとも一方に、20〜100量体のオリゴマーまたはモノマーとオリゴマー1wt%以上の混合体を用いる。【効果】 蒸着時間による膜厚管理がしやすくなり、重合ものムラも発生しにくいため、生産および歩留りが向上する。

Claim (excerpt)：

減圧槽内の別個の容器に、2種類の原料を入れて、前記原料を、減圧槽内の上方にとりつけた基板上に蒸着または昇華させた後に反応させて蒸着膜を作製する方法において、前記原料の少くとも一方に、20〜100量体のオリゴマーまたはモノマーとオリゴマー1wt%以上の混合体を用いることを特徴とする有機高分子膜の製造方法。

IPC (6)：

G02F 1/1337 520 ,  C08G 73/10 NTF ,  C08G 85/00 NUY ,  C08J 5/18 ,  C09K 19/02 ,  C23C 14/20