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J-GLOBAL ID：200903047889968194

位置合わせ装置

Inventor：
児玉 賢一

About 児玉 賢一


Applicant, Patent owner：
株式会社ニコン

About 株式会社ニコン


Agent (1)： 山口 孝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001255429
Publication number (International publication number)：2003068613
Application date： Aug. 27, 2001
Publication date： Mar. 07, 2003
Summary：
【要約】【課題】 たとえば近接露光装置に適用された場合に、露光光路を遮ることなく原版と基板との位置合わせを行うことのできる固定式の位置合わせ装置。【解決手段】 実質的に傾いた光路に沿って、第1基板(1)に形成された第1回折格子マーク(7)および第2基板(3)に形成された第2回折格子マークに可干渉光を照射するための照射系(4〜6)と、第1回折格子マークからの回折光に基づいてその像を形成し、第2回折格子マークからの回折光に基づいてその像を形成するための結像系(6,9〜11)と、結像系を介して形成された第1回折格子マークの像および第2回折格子マークの像を検出するための検出系(12)とを備えている。検出系の出力に基づいて第1基板と第2基板とを位置合わせする。
Claim (excerpt)：
互いに平行に近接して配置された第1基板と第2基板とを位置合わせする、近接露光装置用の位置合わせ装置において、照明光学系を含み、前記第1基板に形成された第1回折格子マークおよび前記第2基板に形成された第2回折格子マークに可干渉光を照明する照明系と、結像光学系を含み、回折作用により形成される前記第1回折格子マークからの回折像と前記第2回折格子マークからの回折像とを検出する結像系とを備え、前記照明系と前記結像系とを露光領域外であって同じ側に配置し、更に、前記結像光学系の光軸と前記第1基板の法線とを平行に配置したことを特徴とする位置合わせ装置。
IPC (3)：
H01L 21/027 ,  G01B 11/00 ,  G03F 9/00
FI (3)：
G01B 11/00 G ,  G03F 9/00 H ,  H01L 21/30 510
F-Term (31)：
2F065AA03 ,  2F065AA06 ,  2F065AA07 ,  2F065AA14 ,  2F065AA20 ,  2F065BB02 ,  2F065BB27 ,  2F065CC20 ,  2F065FF01 ,  2F065FF48 ,  2F065GG05 ,  2F065GG06 ,  2F065GG12 ,  2F065GG22 ,  2F065HH03 ,  2F065HH12 ,  2F065JJ01 ,  2F065JJ16 ,  2F065JJ22 ,  2F065LL08 ,  2F065LL12 ,  2F065LL42 ,  5F046BA02 ,  5F046EA07 ,  5F046EB01 ,  5F046EB02 ,  5F046ED01 ,  5F046FA05 ,  5F046FA10 ,  5F046FB09 ,  5F046FB12
Patent cited by the Patent：
Cited by examiner (6)
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