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J-GLOBAL ID：200903047896633114

プローブ移動装置およびそれを用いた試料作製装置

Inventor： 遠山 博 ,  梅村 馨 ,  富松 聡 ,  土井 泰徳
Applicant, Patent owner： 株式会社日立製作所
Agent (1)： 小川 勝男
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1998166610
Publication number (International publication number)：2000002630
Application date： Jun. 15, 1998
Publication date： Jan. 07, 2000
Summary：

【要約】【課題】バイモルフ圧電素子の撓みによって発生するバイモルフ型圧電素子102の支点を中心とする円周方向のずれ112を自動的に補正し、微細な操作にも適用できる操作性のよいプローブ移動装置,マイクロピンセット装置を提供する。【解決手段】積層型圧電素子101の伸縮方向にバイモルフ型圧電素子102を配置し、バイモルフ型圧電素子の両面に貼り付けた歪みゲージ素子103と補正回路105とで補正量112を発生し、積層型圧電素子の伸縮により、プローブ先端の移動軌跡が直線的に変位するようにした。

Claim (excerpt)：

板状圧電部材と前記板状圧電部材の一端に積層状圧電部材と、他端に探針を具備することを特徴とするプローブ移動装置。

IPC (2)：

G01N 1/28 ,  G01N 1/00 101

FI (2)：

G01N 1/28 G ,  G01N 1/00 101 A