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J-GLOBAL ID：200903047899752297

半導体チツプ運動変換器及びその形成方法

Inventor： ポール・グライフ
Applicant, Patent owner： ザ・チヤールズ・スターク・ドレイパー・ラボラトリー・インコーポレイテツド
Agent (1)： 秋元 輝雄
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1991040785
Publication number (International publication number)：1993133976
Application date： Feb. 14, 1991
Publication date： May. 28, 1993
Summary：

【要約】 (修正有)【目的】弾性的に支持される半導体基板の部分をそれより分離して形成する小型の運動変換器。【構成】半導体材料からエッチングによって製造される運動変換器であって、弾性的に支持されるエレメント16,20を有する。それらによって振動感度に対応する電気的な検知信号又はトルク信号が発生し種々の物理的なパラメータに関する変換器が構成される。ジャイロスコピック変換器の場合、重り28が両側にバランスを取って設けられる。エレメント16,22と電極30,32,38,40はpn接合又は誘電体によって分離される。20,24が支持連結部を構成する。結晶配向の選択はエレメントをエッチングによて形成するために重要である。機械-電気信号の変換はpn接合と撓み部の制御作用によって構成する。

Claim (excerpt)：

半導体チップ運動変換器であって、撓み支持される半導体の基板と、該基板用の半導体の枠と、該基板を該枠に可撓的に連結する、細長い撓み支持部であって、半導体材料からなるものと、該撓み支持部に隣接する該枠内部のpn接合部と、を具備する半導体チップ運動変換器。

IPC (4)：

G01P 15/08 ,  G01C 19/56 ,  G01L 1/18 ,  H01L 29/84