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J-GLOBAL ID:200903047910516380

振動子

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1996303069
Publication number (International publication number):1998141961
Application date: Nov. 14, 1996
Publication date: May. 29, 1998
Summary:
【要約】【課題】損失の少ない、即ち、Q値の高い、効率の高い振動子を提供する。【解決手段】 振動体3を屈曲部を有する支持梁2a〜2dで固定部1a、1bに支持してなる振動子10において、支持梁2a〜2dの屈曲部に丸みを設けたことを特徴とする振動子。
Claim (excerpt):
振動体を屈曲部を有する支持梁で固定部に支持してなる振動子において、前記支持梁の屈曲部に丸みを設けたことを特徴とする振動子。
IPC (3):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84
FI (3):
G01C 19/56 ,  G01P 9/04 ,  H01L 29/84 Z

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