Pat
J-GLOBAL ID：200903047916584182
接合方法
Inventor：
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Applicant, Patent owner：
Agent (1)：
渡邉 勇 (外2名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1997163245
Publication number (International publication number)：1998338555
Application date： Jun. 05, 1997
Publication date： Dec. 22, 1998
Summary：
【要約】【課題】 生産性が高く歩留まりの良い水晶もしくはガラス基板の接合方法を提供することである。【解決手段】 予めHFで表面処理した水晶もしくはガラス基板をAr等の清浄なガス中、もしくは真空中で加熱、加圧して接合する。
Claim (excerpt)：
被接合材料である水晶もしくはガラス試料の被接合面をHF処理する工程と、清浄化された空気、もしくは不活性ガス、もしくは窒素雰囲気中で、 HF処理した被接合材料を加熱し、加圧して接合させる工程を有することを特徴とする接合方法。
IPC (2)：
FI (2)：
C03C 27/10 Z
, G21K 5/04 A
Cited by applicant (1)
Cited by examiner (1)
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