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J-GLOBAL ID：200903047974863466

EL素子の製造方法

Inventor： 杉浦 和彦 ,  片山 雅之
Applicant, Patent owner： 株式会社デンソー
Agent (1)： 伊藤 洋二
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1995274431
Publication number (International publication number)：1997115666
Application date： Oct. 23, 1995
Publication date： May. 02, 1997
Summary：

【要約】【課題】 アルカリ土類金属硫化物またはアルカリ土類金属セレン化物を発光層の母体材料とするEL素子の製造において、発光層成膜後においても洗浄を行えるようにする。【解決手段】 アルカリ土類金属硫化物(CaS、SrS、BaS)またはアルカリ土類セレン化物(CaSe、SrSe、BaSe)を母体材料とする発光層を形成した後、図に示す各洗浄工程において、シリコーンオイルを用いた洗浄を行う。

Claim (excerpt)：

基板(11)上に、下部電極(12)、下部絶縁層(13)、発光層(14)、上部絶縁層(15)および上部電極(16)を積層形成してなり、アルカリ土類金属硫化物又はアルカリ土類セレン化物を前記発光層(14)の発光母材とするEL素子の製造方法であって、前記発光層(14)形成後の洗浄工程において、シリコーンオイルを用いた洗浄を行うことを特徴とするEL素子の製造方法。