透過電子顕微鏡

Inventor：
Applicant, Patent owner：
Agent (1)：菅井英雄 (外7名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1999169792
Publication number (International publication number)：2001006596
Application date： Jun. 16, 1999
Publication date： Jan. 12, 2001
Summary：

【要約】【課題】球面収差を補正する。【解決手段】照射レンズ2と補助照射レンズ3は、試料上の電流密度によらず、電子回折が常に固定された位置に形成されるように連動制御される。この電子回折が形成される位置には6極子コイル10が配置され、この6極子コイル10と共役に6極子コイル14が配置される。6極子コイル10と14との間にはダブレットレンズ11が配置される。対物レンズ4は無限遠結像である。6極子コイル10で導入されたプライマリな効果は、3回対称なので6極子コイル14において相殺される。一方、収差項の効果は、回転対称性で加算されるので、2個の6極子コイル10、14に適当な強度を与えることで、2個の6極子コイル10、14の効果として最終的に回転対称な成分のみが残るようにすると、この成分は、CS と同次元逆符号であるため、球面収差を補正することができる。

Claim (excerpt)：

試料上の電流密度によらず、対物レンズにより形成される試料の電子回折のクロスオーバーが常に固定された位置に形成されるようになされた照射光学系と、その中心が、前記電子回折が形成される位置と共役の位置になるように配置された3回対称の磁場を生じる第1の多極子コイルと、その中心が、前記第1の多極子コイルと共役にある位置に配置された3回対称の磁場を生じる第2の多極子コイルと、第1の多極子コイルと、第2の多極子コイルの間に配置され、第1の多極子コイルの中心に形成された電子回折を、第2の多極子コイルの中心の位置に移す1組のダブレットレンズとを備えることを特徴とする透過電子顕微鏡。

IPC (2)：

H01J 37/153 , H01J 37/141

FI (2)：

H01J 37/153 A , H01J 37/141 Z

F-Term (4)：

5C033DD02 , 5C033DD04 , 5C033DD07 , 5C033HH05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (4)

特開昭59-170753
特開平3-295140
特開昭59-170753

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