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J-GLOBAL ID：200903047995051640

緻密コーディエライト質セラミックス及びその製造方法

Inventor： 栗原 祥晃 ,  川合 潔
Applicant, Patent owner： 日立化成工業株式会社
Agent (1)： 高田 幸彦 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：2001125543
Publication number (International publication number)：2002321969
Application date： Apr. 24, 2001
Publication date： Nov. 08, 2002
Summary：

【要約】【課題】 金属に比べ剛性が高く、かつ熱膨張係数が小さく、気孔率が5%以下の緻密コーディエライト質セラミックス及びその製造方法を提供する。【解決手段】 一般式2MgO・2Al2O3・5SiO2で表されるコーディエライト93〜99.99重量%及び窒化珪素0.01〜7重量%を含有し、かつ気孔率が5%以下である緻密コーディエライト質セラミックス及び一般式2MgO・2Al2O3・5SiO2で表されるコーディエライト粉末93〜99.99重量%及び窒化珪素粉末0.01〜7重量%を混合、成形した後、1270〜1440°Cの温度で焼成することを特徴とする気孔率が5%以下の緻密コーディエライト質セラミックスの製造方法。

Claim (excerpt)：

一般式2MgO・2Al2O3・5SiO2で表されるコーディエライト93〜99.99重量%及び窒化珪素0.01〜7重量%を含有し、かつ気孔率が5%以下である緻密コーディエライト質セラミックス。

IPC (2)：

C04B 35/195 ,  H01L 21/027

FI (2)：

C04B 35/16 A ,  H01L 21/30 503 C

F-Term (11)：

4G030AA07 ,  4G030AA36 ,  4G030AA37 ,  4G030AA52 ,  4G030BA24 ,  4G030GA24 ,  4G030GA27 ,  4G030HA18 ,  5F046CC08 ,  5F046CC11 ,  5F046DA05

Patent cited by the Patent：

Cited by examiner (1)

• 特開昭59-174572