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J-GLOBAL ID:200903047997336412

洗浄液の再生処理方法及び再生処理装置

Inventor:
Applicant, Patent owner:
Agent (1): 西村 征生
Gazette classification:公開公報
Application number (International application number):1999002313
Publication number (International publication number):2000200767
Application date: Jan. 07, 1999
Publication date: Jul. 18, 2000
Summary:
【要約】【課題】 洗浄液に含まれているイオンや微粒子等の不純物をまとめて、かつ効率良く除去する。【解決手段】 被洗浄物を洗浄後の、イオン化した不純物及びイオン化していない不純物を含む洗浄液101を貯留する工程と、洗浄液101に気泡104を発生させる工程と、洗浄液101中に発生した気泡104にイオン化した不純物及びイオン化していない不純物を選択的に吸着させる工程と、気泡104に吸着した不純物を除去し、清浄な洗浄液に再生する工程とを有する。
Claim (excerpt):
被洗浄物を洗浄後の、イオン化した不純物及びイオン化していない不純物を含む洗浄液を貯留する工程と、前記洗浄液に気泡を発生させる工程と、前記洗浄液中に発生した気泡に前記イオン化した不純物及びイオン化していない不純物を選択的に吸着させる工程と、前記気泡に吸着した不純物を除去し、清浄な洗浄液に再生する工程とを有することを特徴とする洗浄液の再生処理方法。
Patent cited by the Patent:
Cited by examiner (2)

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