Pat

J-GLOBAL ID：200903048021355087

走査型顕微鏡

Inventor： 堀川 嘉明
Applicant, Patent owner： オリンパス光学工業株式会社
Agent (1)： 篠原 泰司 (外1名)
Gazette classification：公開公報
Application number (International application number)：1992027782
Publication number (International publication number)：1993224128
Application date： Feb. 14, 1992
Publication date： Sep. 03, 1993
Summary：

【要約】【目的】焦点深度を深くして、解像力の良い三次元画像を短時間で得る。【構成】レーザからのレーザビームを、ビームエキスパンダー28で対物レンズ29の瞳径の1/2のスポットサイズに設定し、ビームスプリッター30で分割する。光路上に音響光学光偏向素子から成る第一の光偏向器31と振動ミラーから成る第二の光偏向器34を設け、ビームの水平走査と垂直走査をテレビの走査速度に同期させる。試料38の透過光は光検出器40で検出し、反射光や蛍光は光検出器41で検出する。検出した画像に基づき、三次元画像を観察する。

Claim (excerpt)：

光源と、該光源からの光束を物体に照射するための対物レンズと、物体からの光を集光するコンデンサーと、該コンデンサーで集められた光を受ける検出器と、前記光源と対物レンズとの間に配置されていて光源からの光束により物体を走査するための走査光学系とを備えた走査型顕微鏡において、前記光源からの光束を複数の光束に分割する光束分割手段が設けられていると共に、前記検出器は複数の光束を個別に受光する複数の光電変換素子によって構成されていて、該検出器から三次元画像用信号を得るようにしたことを特徴とする走査型顕微鏡。